命令如狂风骤雨!整个车间瞬间被点燃!所有人忘记了疲惫,忘记了怀疑,像奔向圣水的沙漠旅人!接线!调试!开机!
那小小的银灰色“黑盒子”被小心翼翼地接入光刻机主控系统庞大的接口阵列中。
嗡——
一声低沉的启动自检蜂鸣后。
嗡!!!!!
驱动供件台和掩模板的双工位精密伺服马达首次发出了极其悦耳柔和、如同龙脉苏醒的顺畅嗡鸣!
联接着两台工作台最高精度激光干涉仪的巨型监控屏幕骤然亮起!
无数代表着位置、速度、实时误差、温度补偿、微振动抵消效能的复杂曲线,如同被造物主亲手绘制、被无形的上帝之手梳理熨平,以前所未有的清晰、稳定、柔顺的方式舒展开来!流畅!高效!精准得令人灵魂颤栗!
动态位置误差峰峰值。
0.8纳米!
掩模同步补偿延迟。
微秒级!
稳定性冗余度。
120%!
远超之前任何理论预测!
远超ASML控制系统对外模糊公布的综合性能指标!
一个全新的、充满了龙夏风格的、为龙夏自研硬件平台量身定制的、拥有完全自主核心算法的“光刻机大脑”——在此刻诞生!
寂静!绝对的寂静!
然后——
轰!!!
不是欢呼!
而是一大片不由自主倒抽冷气的震撼声浪!如同台风过境!
所有人都盯着那屏幕上如同艺术般精确运行的数据曲线,如同目睹神迹降临!许多人捂住了嘴,眼泪不受控制地涌了出来!
袁涛死死盯着屏幕,身体僵硬如同石化,足足过了十几秒,他才抬起手,狠狠抹了一把脸,脸上分不清是汗水还是泪水。
他没有高喊,只是用尽全身力气,从喉咙深处挤出两个嘶哑到变调的字。
“真……行!”
整个光刻机所有硬件到软件、从材料到工艺、从光源到镜头的、最后一个!最坚固!最无形!也曾被认为最不可逾越的障碍——彻底崩塌!龙夏,完全实现了EUV光刻技术的全链条自主!
那条被西方吹嘘为需要集成全球数千家顶级供应商智慧的产业链神话,被龙夏独自击得粉碎!
一个月后。
龙夏部落腹地,深藏于群山环绕中的一体化军工厂,戒备最为森严的
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