“甲字1号”芯片超洁净车间。淡黄色的无尘灯光像瀑布般均匀洒落,照亮着中央区域那个庞然大物。
那是整个龙夏工业皇冠上刚刚镶嵌上去的、最耀眼夺目的新星!
——“龙光刻-1号”。
由龙夏部落自主研发、自主知识产权的极紫外光刻整机!
它巨大的骨架银光流淌,复杂的管道与线缆如同精密的神经丛,巨大的真空腔体如同钢铁巨兽的心脏,而那经过无数次千锤百炼、最终稳定激射出纯粹13.5nm极紫外光的光源核心,则散发着微微的幽蓝光芒。
两台工作台在磁悬浮轨道上待命微颤,等待着注入生命的指令。
空气中弥漫着一种无形的、令人心悸的静电场。没有欢呼,没有喧哗,所有穿着最高等级防尘服的研究员、工程师、军工厂的八级老师傅,全都屏息凝神,如同环绕着圣物的信徒。
苏定平站在主控台前,手指最终按下了启动键。
无声的洪流开始奔腾。
硅晶圆载入、真空舱闭合、激光预热、掩膜版精准对位……
极紫外光源骤然点亮!
那束无形的、足以刻画出星球文明新地图的光束,经过数十片自主生产、精度逆天的反射镜折射、聚焦,精准地投射在涂满光刻胶的硅片上!
刻蚀!显影!……
时间一分一秒在巨大的期待与死寂中流过。
当第一块完成光刻步骤的硅晶圆最终被机械臂取出发送到扫描式电子显微镜进行晶片在线图像检测时,所有人围拢到检测室的防尘门外,紧张地看着里面的操作员。
操作员的手指在精密控制台上移动着。扫描光束开始在硅片上纵横。
巨大的屏幕上,开始逐行显示出高精度的线条图像。
第一条……第三条……第十条……整个区域!
放大!再放大!
屏幕上最终定格在那令人目眩神迷的精密电路图案!
7nm FinFET晶体管!立体三维结构清晰!栅极清晰!沟道清晰!线条边缘锐利度超过预期!没有短路断路!完美!
自动分析软件飞速处理数据,最终在屏幕下方弹出一个刺眼夺目的绿色框体。
【综合良品率。92。1%!】
“成功了!!!”
“我们自己的EUV!自己造的7nm芯片!”
“92%!92%!!!”
整个车间!不!
本章未完,请点击下一页继续阅读!