於km栅极工艺验证，多重曝光图形拆分测试，良率优化实验。
「至於fnft工艺，必须协同作业，最低保障要三台并行，核心层五重曝光，而且组合产能会非常低，理想情况下不到单次曝光产能的17%，想用现有的机器追赶先进位程，就必须承受低产出，而要达到合格产出，就必须在设备上加量。
「所以，这只是研发所需的光刻机，真正要达到突破20纳米下的量产，以目前的光刻机能力，三台远远不够，以後还要加量，而且每次至少加一组，一组三台。」
陈学兵算是直观体会到了多重曝光的成本。
光是光刻机，就要投入五倍多的量。
不过梁孟松预算过程中透露出的东西更令他震惊。
「17%？这麽精确？而且……五重曝光，你已经知道怎麽做？」
「测算我是做过一些，五重曝光的路径现在还不确定，不过……给我钱，给我设备，给我时间，我会找到答案。」
梁孟松嘴角自信扬起，微笑背後，是看透本质後的笃定。
陈学兵根据先知，把对方透露的一切判断为真，脑子里便出现了四个字：
误闯天家。这就是摸到世界一流科学水平的感觉了。
也只有这种感觉，能让他有不顾一切的冲动。
他起身，抬手伸向梁孟松：「合作愉快。」
梁孟松迟疑了一下：「我的预算还没有报完。」
「总共不就是15亿美元。」陈学兵此时亦有自信：「你需要多少，我就给你多少。」
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「不过.……你还做一件事。」他想了想，又补充道：「封装技术的研发要同时进行。」
先进封装，晶片堆叠，是v多重曝光之後，在无v情况下继续逼近先进位程等效算力的唯一手段。
这方面他了解甚少，暂时还不知道该往什麽方向努力，此时提出来，只是碰碰运气。
但这话一出，梁孟松笑了起来。
「fnft的尺寸缩小，要求封装体更轻薄、互连更精准，这正是fnft的核心诉求，也是我正打算跟你说的，既然你清楚，那我要提醒你，日後相关投入不会小，你要有心理准备。」
陈学兵也笑：「那我们彼此都省了不少功夫。」梁孟松思索三秒，站了起来，握住陈学兵的手。
「合作愉快。」
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