8nm以下,只要解决套刻精度问题,就能满足14nmfnft的光刻需求,我在台积电主导65nm时,就用193nm光刻机做过类似尝试,良率能从30%提到70%,现在的设备比当时更先进,没理由做不到。」
「材料是花钱能解决的问题,那就不是问题。我在台积电的老部下里,有专门做材料适配的团队,只要你肯出溢价,他们能通过的渠道拿到样品,量产之前用不了多大的量,而且三星的32nm材料供应链可以借监,看你能不能拿到。」
梁孟松实在耿直,几句话便把路径给说完了。
他语速太快,像那种尖子班的数学老师,理所当然地觉每个人都该听懂一般,根本不给陈学兵消化的间隙,搞陈学兵全力以赴也没太听明白。陈学兵只能感叹:梁孟松,神人也。
只是随口而出,就把每一个节点的突破点都说到了,甚至包括目前全世界都没有突破的节点。
具体有多神?
就他刚才随口说到的一个点,「65nm良率从30%提升到70%」,是整个中芯国际干了大半年都没有实现的。
没理由做不到?
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中芯国际全体科研人员听了都要吐血三升。
在梁眼里,追制程可能就没有困难,每个节点的突破如探囊取物一般。
说说不算牛逼,关键是人家真的能做。
但随即,陈学兵脑子里瞬间出现了一连串疑问。
「既然你这麽笃定fnft可行,又认为五年就能突破到量产,为什麽不说服台积电选你的路?台积电不可能一点紧迫感都没有吧?」
「因为不划算。」梁孟松抱起手,缓缓说道:「胡正明2001年就担任台积电第一任t,带来了fnft的想法,但这需要全新设备、全新工艺、全新设计规则,投资是平面工艺的2-3倍,所以直到他2004年离任,台积电仍坚持以平面mft为主,并且和aml联合开发出了浸没式光刻机,算是走通了平面叠代的路。
「张忠谋的风格是稳健第一,不赌激进路线,新上任的蔡力行也主张成本绩效为先,所以他们更倾向渐进式叠代,对fnft持谨慎观望态度,fnft课题在台积电一直存在,但要到20nm以下才是真正需求,所以没有必要上太早。」
陈学兵还是不理解:「渐进式叠代,台积电难道不慌,不想争第一?」
「纸面第一有什麽意义?」梁孟松笑道:「对他们来说,渐进式推进才
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