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第597章 纳米压印冷刻机

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车队。

车子开了大约四十分钟,驶入西安高新区的一片产业园区。

这里守卫明显比普通园区严格,门口有保安核对车牌和证件。

媒体的车子被挡在后面,记者下车,对着李修吾的车队,和楼上熊猫机芯几个字猛拍。

李修吾的车队,进入了熊猫机芯的地下停车场。

“老板。”龙祥东和一些人站在地下车库。

“你先去忙吧,我下午过来。”李修吾和龙祥东打招呼,换上一辆车,继续向里。

光刻机实验室的防守更严密了,一道道安检过来,到了入口李修吾下车,潘磊和韩美美在这里也被拦下来。

邱教授站在门口,他满头银发,精神矍铄,顾不上安检还在对李修吾进行检查,走过来握住李修吾的手。

“老板,可把你盼来了。”

“邱教授这么激动,实验室肯定有巨大的惊喜等着我。”李修吾笑着回应,从安检的升级中,李修吾能感觉到光刻机的技术突破受到重视。

一身黑色衣服的安保,带着白色手套,将李修吾的手机和腕表收进自封袋,放在托盘里,才放李修吾进去。

“走,我带你去看看我们的成果。”一向沉稳的邱连海教授这次很急,拉着李修吾就往里走。

又经过两道安检门、风淋室,这里的防护等级比超算中心高出几个等级。

将身上的衣服换成防尘服,李修吾跟着邱连海走进核心实验区。

空旷的厂房里,一台巨大而粗野的机器安静地矗立着,各种管线密布,蓝色的指示灯有规律地闪烁。

“这就是我们的第一代纳米压印冷刻机。”邱连海走到巨大的玻璃窗前,看着内部那台机器,眼中满是自豪。

李修吾打量着这台粗野庞然大物。

听到名字他愣了一下。“纳米压印冷刻机。”

纳米压印光刻机他知道,这是1995年出现的技术理论,目前的缺陷非常大,卡在500纳米,无法突破。

“不错,当前的纳米压印技术,是热压技术,很容易对硅晶片产生形变,从而导致良品率差,还会损伤压印模板,模板使用受限,50-100次就会损毁。”

“我们的一个成员,在逆推12英寸浸没式光刻机的过程中,巧合地突破了纳米晶金光石技术。”

“里维斯对这项技术很感兴趣,在对它的研究中,灵光一闪,想到了快被世界遗忘的纳米压印技术。”


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